真空回火爐主要用于Cu、Ni、Be、Cr、Ti、Zr、Nb、Ta、W、Mo等金屬材料及合金材料、高速鋼、冷熱作模具鋼、不銹鋼、彈性合金、高溫合金、軟磁性材料、不銹鋼材料、鈦合金、硬質合金等的真空退火、時效工藝，真空回火爐也適用于工具鋼、模具鋼等合金鋼的回火工藝等。
1、爐膛材料采用優質的氧化鋁多晶纖維真空吸附制成，節能一半，三面加熱溫場均勻。加熱元件采用優質電阻絲。.爐架采用雙層爐殼結構，雙層爐殼之間裝有風機，可以快速升降溫，爐殼表面溫度低。
2、爐膛內安裝有材質不銹鋼爐罐，前部留有真空接口，安裝真空系統并配有充放氣裝置。爐罐上安裝有壓力表，配合充放氣閥完成充放氣動作，在降溫過程中通過配合程序以表完成自動降溫。
3、爐罐內一料架或者裝料平臺，可配料架，料架根據客戶要求可分層，充分保證材料受熱均勻，達到熱處理效果。
4、爐罐內安裝壹只熱電偶配合數顯溫度儀表實時顯示爐罐內工件的溫度。爐體上安裝壹只控溫熱偶，配合程序儀表實時控制爐體溫度。留有安全防爆閥接口。
5、真空系統由一臺直聯泵和真空閥氣動門等組成，真空的測量有一臺真空計來實現，可實時顯示爐罐內的真空度。
6、溫度控制系統采用可控硅溫度控制，溫度控制儀表采用宇電30段溫控程序儀表，具有自動控制功能。并配置一臺完成所有動作的實現和控制，電氣元件采用整體設備具有加熱快、保溫好、控制精密、節能好、使用安全可靠等優點。
設備使用注意事項說明：
1、設備在處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮在高溫下反應，形成金黃色的氮化鈦。
2、真空回火爐活動連接部分全部采用O型橡膠圈密封連接，此部分均通水冷卻。
3、工件在真空狀態下淬火，應使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。
4、設備保養應在真空或充純氮狀態下，避免平時不用時吸氣，吸潮。
5、國內真空爐的壓升率。
6、真空加熱以輻射為主，工件在爐內應該保持間距。
7、升溫過程中，工件及爐內材料會放氣，使真空度下降。
8、真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規處理時加熱溫度相同。
9、真空回火爐應該具有快冷裝置。冷卻水的壓力，流量應可調。
10、冷卻氣體：鋼一般采用99.99%純度的氮氣，高溫合金采用99.99%的氮氣或氬氣，鈦合金采用99.99%的氬氣。
11、升溫：放入工件后，一般先預抽可升溫加熱。
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